石英ガラスは、その原料と製造方法によって大きく分類されます。
1. 原料による分類
石英ガラスは、まず原料の違いから「合成石英」と「溶融石英」の2つに大別されます。
- 合成石英（Synthetic Quartz）
- 特徴: 化学的な方法で高純度のシリカ原料を合成して作られます。不純物が極めて少なく、高い透過性（特に紫外線領域）を持ちます。
- 主用途: 半導体・液晶製造、光学用途、工業用途に用いられます。
- 溶融石英 （Fused Quartz / Fused Silica）（天然石英）
- 特徴：天然の水晶を原料として高温で溶融して作られます。合成石英に比べると微量の不純物を含むことがあります。
2. 溶融石英の製造方法とグレードによる分類
溶融石英は、さらにその溶融方法によって「酸水素溶融品」と「電気溶融品」に分かれ、それぞれグレードがあります。
A. 酸水素溶融品（Oxy-hydrogen Melted）
- 特徴：酸水素炎を用いて溶融したもので、OH基（水酸基）を含みますが、気泡が少ないという特徴があります。
- グレードと主用途
- 一般品：主に半導体・理化学用。
- 高純度品：高い純度が求められる半導体・理化学用。
- 不透明石英（Opaque Quartz）：半導体用（高い熱遮断性が求められる用途など）。
B. 電気溶融品 (Electrically Melted)
- 特徴：電気炉を用いて溶融したもので、OH基の含有量が非常に少ない（ドライタイプ）のが特徴です。
- グレードと主用途
- 一般品：半導体用。
- 高純度品：高純度が求められる半導体用。
| 分類 | 原料/製造法 | 特徴 | 主なグレードと用途 |
|---|---|---|---|
| 合成石英 | 合成シリカ | 高純度、高いUV透過性 | 半導体・液晶、工業用 |
| 溶融石英（酸水素溶融品） | 天然水晶／酸水素炎 | OH基を含む、気泡少なめ | 一般品・高純度品（半導体・理化学用）、不透明石英（半導体用） |
| 溶融石英（電気溶融品） | 天然水晶／電気炉 | 低OH基 (ドライタイプ) | 一般品・高純度品（半導体用） |
