透明性
（あらゆる光をよく通す）
紫外線から赤外線まで、広い波長範囲で良好な透過特性をもっています
高純度
（不純物が極めて少ない）
SiO2のみからできており、金属不純物をほんのわずかしか含んでおりません。
半導体製造のプロセスのCVD工程や拡散工程に不可欠な石英ガラス製の炉心管、ポート等は、デバイスの高度化の中で、高耐熱、高純度、パーティクル対策等、日々高品質化しております。
当社は、蓄積されたノウハウ、最新のテクニックで、高度なご要望にお応えし、先端産業を支える石英ガラス製品を提供致します。カワタ石英硝子は、常に次世代に続く流れを見つめ、誇りとする高度な技術力をお届けします。
石英ガラスの主な性質The main properties of the quartz glass
耐熱性
（熱に強い）
石英ガラスの軟化点は、1,700℃と非常に高く、熱膨張係数も小さいため、急激な温度変化にも耐えられます。
耐酸性
（薬品に侵されにくい）
石英ガラスは化学的にも極めて安定しているため、薬品を使用する環境下においても優れた性能を発揮します。
主な取扱製品Major product
| 製品名 | カテゴリ | 特徴 |
|---|---|---|
| 石英ガラス製 （シリコンウエハー用ボード） （横型・縦型） |
石英硝子加工半導体プロセス 洗浄、反応プロセス |
半導体製造プロセスのうち、高精度切削機による、精度保障、またウエハーの大口径に伴う大型化にも実績有る加工技術と測定技術で高度なご要望にお応えしております。 |
| 石英ガラス製炉心管 （横型・縦型） |
石英硝子加工半導体プロセス 拡散・CVD・アニール |
デバイスの高度化の中で、CVD工程や拡散工程に不可欠な、高耐熱、高純度、パーティクル対策等、日々高品質化しております。 |
| 石英ガラス製角槽 （オーバーフロー） |
石英硝子加工半導体プロセス 薬液処理用 |
薬液処理用の洗浄工程で使用される角槽は、石英ガラスの特性である高耐熱、耐薬品性また、アルカリなどの不純物の極めて少ない高純度石英ガラス加工致します。 |
